BOOTH
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見えない「帯電粒子」を測る新しい計測技術：大気環境計測から半導体製造環境の評価まで
周囲のイオンとの衝突や粒子同士の接触・摩擦で帯電した微粒子は、半導体や電子デバイス、環境計測など幅広い分野で重要です。本展示では、帯電粒子の連続計測技術と個別粒子分析を紹介し、環境計測の調査に関する共同研究の可能性をご提案します。
理工学部応用化学科 助教
森樹大
